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机译:高温退火研究薄氮化铝薄膜的压电性能
Farrell, R.; Pagan, V. R.; Kabulski, A.; Kuchibhatl, Sridhar; Harman, J.; Kasarla, K. R.; Rodak, L. E.; Famouri, P.; Hensel, J. Peter; Korakakis, D.;
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机译:氮化铝压电薄膜,压电材料,压电部件以及氮化铝压电薄膜的制造方法
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